NUM 與台灣液靜壓磨床專家 GRINTIMATE 合作

GRINTIMATE（全鑫精密工業股份有限公司）是亞洲液靜壓磨床市場的專家。與 NUM 一樣，該公司成立於 2015 年，總部位於台中。該公司主要因其液靜壓外圓磨床、旋轉平面磨床和晶圓磨床而享有盛名。

合作的經過

NUM 亞洲首席戰略長 Adrian Kiener 早在 2018 年在上海舉行的 CIMT（中國國際機床刀具展覽會）上就認識了 Grintimate。此後一直保持著斷斷續續的聯繫。他們大約每六個月會面一次，交換有關最新發展的資訊。正是這一點導致了實際的合作，因為 NUM 在自動化和研磨技術方面具有顯著優勢。特別是他們的晶圓研磨機。

為什麼是 NUM？

NUM 在台灣的 NTC 經理 Johnny Wu 瞭解到，Grintimate 已經嘗試過其他整合解決方案：

「NUM 不是 Grintimate 第一個用於晶圓磨床的控制器」。Grintimate 的副總 Tricia Tsai 補充說：「我們還使用其他台灣 的PC based 控制器。Grintimate GTR 晶圓研磨機已經滿足了 SiC、Si、GaN 等晶圓減薄工藝（見方框）的要求。然而，半導體晶圓廠驗收的另一個挑戰是 在GTR 上實現 SECS/GEM 和裝載/卸載系統的整合，而NUM 系統將有助於實現這個目標。」

晶圓磨床自動化

最終挑戰在於實現 GTR-1215 研磨機的自動化。Johnny Wu 解釋了真正的挑戰是什麼：

「首先，可能有兩個或更多個機器手將晶圓傳入並傳出（稱為 EFEM/設備前端模組）到 GTR-1215。前端機器手的選擇、EFEM 與主機之間的儲存方式、SECS/GEM 與主機系統之間的通訊以及 BC（區塊控制）的整合都需要一個特殊的協議。

因此，控制器應該能夠接收到來自機器手的訊號並開始其餘的製程。在 GTR-1215 研磨完成後，我們的控制器還需要給機器手發送一個訊號，讓其傳送晶圓。由 SEMI（國際半導體設備和材料）組織開發，SECS/GEM 是定義用於設備到主機數據通訊的半導體設備接口協議的標準。整合 SECS/GEM 協議很容易，因為我們的控制器是開放且靈活的。

其次，研磨過程的精度需要大量的主軸電流監控。NUM 控制器可以直接從 MDLUX 驅動器收集當前資訊，然後 透過HMI 軟體將所有這些資訊收集到一個數據庫中。我們還提供自適應研磨的特殊功能，其中不僅包括監控，還包括自適應控制進給以穩定電流。這樣可以獲得更好的表面品質並縮短研磨時間」。

此次合作的經驗

該專案彰顯了 NUM 支援 Grintimate 整合完整晶圓研磨生產線的能力。整合了電流監控和壓力監控，NUM 為 Grintimate 構建了一個專屬 HMI，以確保最佳的機床運行。NUM 還為該專案提供了 PLC 、NC 加工巨集、馬達調整和調試，因此成為了 Grintimate 的整體解決方案。這意味著 Grintimate 可以完全專注於其在機床和研磨技術方面的主要競爭力。

NUM 在台灣的 NTC 經理 Johnny Wu 表示，NUM 在研磨行業是一個知名品牌。NUM 開放且靈活的系統能夠輕鬆存取資訊並提供奈米級別的插補。此外，NTC Taiwan 為 Grintimate 提供了完整的解決方案，其中還包括自適應進給控制。所有這些特徵都佐證了我們的說法：「NUM CNC 解決方案為機床製造商提供了競爭優勢」。

晶圓是整合電路（芯片）的基礎。在生產過程中，只能使用一定厚度的晶圓。通常，在「封裝」整合電路之前，先從晶圓背面去除材料。這個過程稱為晶圓背面減薄工藝。